Stu strumentu adotta un metudu di misurazione interferometrica senza cuntattu, otticu sfasatu, ùn dannu micca a superficia di a pezza durante a misurazione, pò misurà rapidamente a grafica tridimensionale di a micro-topografia di a superficia di diversi pezzi, è analizà è calculà a misura. risultati.
Descrizzione di u produttu
Caratteristiche: Adatta per a misurazione di a rugosità di a superficia di diversi blocchi di calibre è parti ottiche; a prufundità di u reticule di u regnu è u dial; u gruixu di u revestimentu di a struttura di u groove di a griglia è a morfologia di a struttura di u cunfini di u revestimentu; a superficia di u discu magneticu (otticu) è a testa magnetica Misura di a struttura; misurazione di a rugosità di a superficia di u wafer di silicone è a struttura di u mudellu, etc.
A causa di l'alta precisione di misurazione di l'instrumentu, hà e caratteristiche di a misurazione senza cuntattu è tridimensionale, è adopra u cuntrollu di l'urdinatore è l'analisi rapida è u calculu di i risultati di a misura. Stu strumentu hè adattatu per tutti i livelli di teste è unità di ricerca di misurazione, sale di misura di l'impresa industriale è minera, attelli di trasfurmazioni di precisione, è ancu adattatu per istituzioni d'istruzione superiore è di ricerca scientifica, etc.
I principali paràmetri tecnichi
Gamma di misurazione di a prufundità di irregolarità microscòpica di a superficia
In una superficia cuntinua, quandu ùn ci hè micca un cambiamentu bruscu di altezza più grande di 1/4 di lunghezza d'onda trà dui pixel adiacenti: 1000-1nm
Quandu ci hè una mutazione di l'altezza più grande di 1/4 di a lunghezza d'onda trà dui pixel adiacenti: 130-1nm
Ripetibilità di a misura: δRa ≤0.5nm
Ingrandimentu di lenti obiettivu: 40X
Apertura numerica: Φ 65
Distanza di travagliu: 0,5 mm
Campu di vista di l'instrumentu Visual: Φ0.25mm
Fotografia: 0,13 × 0,13 mm
Ingrandimentu di l'instrumentu Visual: 500×
Fotografia (osservata da u screnu di l'urdinatore) -2500×
Array di misurazione di u ricevitore: 1000X1000
Dimensione di pixel: 5,2 × 5,2 µm
Tempu di misurazione di campionamentu (scanning) tempu: 1S
Riflettività specchiu standard di l'instrumentu (alta): ~ 50%
Riflettanza (bassa): ~ 4%
Fonte di illuminazione: lampada incandescente 6V 5W
Lunghezza d'onda di filtru di interferenza verde: λ≒530nm
Demi-largeur λ≒10nm
Ascensore principale di u microscopiu: 110 mm
Tavola elevatrice: 5 mm
Gamma di muvimentu in direzzione X è Y: ~ 10 mm
Gamma di rotazione di a tavola di travagliu: 360 °
Gamma di inclinazione di a tavola di travagliu: ± 6 °
Sistema di computer: P4, 2.8G o più, display flat-screen 17-inch cù 1G o più memoria